洁净棚(简易无尘室)是一种快速、方便、易于建立的洁净室,其具备多种洁净等级和空间搭配,可以根据使用需求进行设计和制作。由于其简便的运用、弹性大安装、施工期短和可移动性,洁净棚成为主要特点。洁净棚不仅可以针对一般等级的洁净室中局部地区需要高洁净度的地方进行局部增设,还可以为操作区内局部净化级别要求高的区域提供高洁净度环境。
洁净棚主要由箱体、风机、初效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成。箱体采用外壳喷塑工艺,便于清洁和维护。风机采用工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,可以送风并过滤空气。初效空气过滤器可以过滤掉99.97%~99.9999%的尘埃,保证空气的净化效果。阻尼层和灯具则可以为洁净棚提供照明和通风服务。
洁净棚可以单个使用,也可以多个连接组成带状洁净区域。为了保持洁净棚的均一气流,必须控制风速。一般来说,洁净室的气流速度应该在0.25~0.5m/s之间,这样可以保证洁净度的稳定性和经济性效果。同时,为了保持洁净棚内的均一气流,必须确保吹出面的风速和地板回风板吸入面的风速没有速度上的差异。如果速度过低或过高,例如0.2m/s或0.7m/s,均会出现涡流现象,影响洁净度的保持。
洁净棚的洁净度受到气流的影响,即操作区内产生的尘埃受到气流的支配,因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。为了保持洁净棚的洁净度,需要使用HEPA、ULPA过滤器过滤空气,并确保过滤器能够有效地收集到99.97%~99.9999%的尘埃。此外,为了保持洁净棚内的均一气流,必须控制风速,并确保地板回风板吸入面的风速和吹出面的风速相等。
