臭氧是一种有害气体。浓度为6.25×10 -6 mol/L(0.3mg/m3)时，对眼、鼻、喉有刺激作用。浓度为(6.25-62.5) × 10-5 mol/L (3-30 mg/m3)时，出现头痛和呼吸器官局部麻痹。当臭氧浓度为3.125× 10-4 ~ 1.25× 10-3摩尔/升(15 ~ 60毫克/立方米)时，对人体有害。其毒性也与接触时间有关。比如长期接触1.748×10 -7 mol/L(4ppm)以下的臭氧会引起* * *心脏紊乱，但接触20ppm以下的臭氧少于2小时对人体无害。因此，臭氧浓度允许值设定为4.46×10 -9 mol/L(0.1ppm)，持续8小时。由于臭氧有强烈的气味，当浓度为4.46× 10-9 mol/L (0.1 ppm)时，人会有感觉。因此，臭氧在世界上已经使用了100多年，至今没有发现一例因臭氧中毒而死亡的病例。
臭氧具有强氧化性，臭氧化的空气对除金和铂以外的几乎所有金属都有腐蚀作用。铝、锌、铅接触臭氧会被强烈氧化，而含铬、铁的合金基本不被臭氧腐蚀。基于这一点，生产中经常使用含25% Cr的铬铁合金(不锈钢)来制造臭氧发生设备和填充设备中与臭氧直接接触的部件。
臭氧对非金属材料也有很强的腐蚀作用。即使是在其他地方使用相当稳定的PVC塑料过滤板，在用于臭氧填充设备后不久也出现了松动、破裂和穿孔。在臭氧发生设备和计量设备中，不能使用普通橡胶作为密封材料，必须使用抗腐蚀性强的硅橡胶或耐酸橡胶。
需要臭氧检测仪来检测空气中的臭氧浓度，避免空气污染。臭氧检测仪主要由低压紫外灯、光波过滤器、入射紫外反射器、臭氧吸收池、样品光电传感器、采样光电传感器、输出显示器和电路元件组成。
