Thermo Fisher Scientific ICP光谱仪以电感耦合高频等离子体为激发光源，利用各元素的原子或离子发射特征光谱来判断物质的组成，对元素进行定性和定量分析。它主要用于微量元素的分析。可分析的元素主要是金属和少量非金属，如硅、磷和硫，这些元素广泛用于质量控制的元素分析。它不仅可以检测超微量元素，还可以检测常量元素，成为分析仪器领域日益强大的研究工具。
Thermo Fisher Scientific ICP光谱仪的分析过程主要分为三步，即激发、光谱和检测。
1.激发光源使样品汽化，离解或分解成原子态，原子可能进一步电离成离子态。原子和离子在光源中激发发光；
第二，用分光器将光源发出的光分散成按波长排列的光谱；
第三，通过光电器件检测光谱，根据测得的光谱波长对样品进行定性分析，或者根据发射的光强进行定量分析。
赛默飞世尔科学ICP光谱仪的维护要求:
1.仪器要有良好的使用环境。环境温湿度变化太大，仪器各部分容易受潮或损坏，所以室内湿度要控制在要求的范围内，并配备空气净化装置。
2.尽量减少使用中的开机关机次数。仪器频繁启动容易造成损坏，使用中需要多加注意。
3.雾化器是进样系统中精密而关键的部件，需要良好的维护和定期清洗，否则可能会导致测定强度下降和仪器入射功率增加。
4.当实验室需要排气扇排除仪器的热量和工作时产生的气体时，含有大量灰尘的室外空气流入室内，堆积在仪器的各个部位，容易引起高压元件或接插件着火，电路板、接线、插座等短路、漏电等故障。，所以要经常进行除尘。
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