万业企业旗下嘉芯半导体连续中标特色工艺线项目

核心提示：(王洛)叶晚企业3月14日宣布，旗下嘉信佳能旗下的高密度等离子体薄膜沉积设备(HDP-CVD)再次中标特殊工艺生产线建设。包括快速热处理(RTP)、氮化硅等离子蚀刻机、金属等离子蚀刻机、侧壁等离子蚀刻机、高密度等离子薄膜沉积设备(HDP-CVD)、二氧化硅等离子薄膜沉积设备(PECVD)、铝铜金属溅射设备(PVD)、掺硼磷二氧化硅薄膜化学沉积设备(SACVD)和钛/氮化钛沉积设备(MOCVD)。据悉，自2022年下半年以来，叶晚企业的子公司嘉信半导体已多次中标各种设备。嘉信佳能是嘉信半导体的子公司。