近年来，随着电子工业的快速发展，电子气在半导体工业中的地位日益突出。电子气作为芯片制造的核心原料，是除硅片外市值最大的材料，重要性不言而喻。本文梳理了国内外电子气及各大公司的市场情况，希望对读者有所帮助。
1市场结构
国外燃气企业在国际燃气市场上占据寡头垄断地位。
电子特种气体行业进入壁垒高，空气化工、林德集团、液化空气、大洋日酸等四大公司控制了全球90%以上的市场份额，呈现寡头垄断格局。在国内市场，海外四大燃气巨头控制了中国88%的电子专用气市场，而国内燃气公司仅占总市场份额的12%，国内企业占比相对较低。电子气长期处于“卡脖子”状态。
2国内外一些电子气体公司
2.1欧美公司
◆美国空气化工产品
空气化学产品公司(APD)于1940年在宾夕法尼亚州成立，是世界第三大气体供应商。空分气体、特种气体、气体设备等的销售和服务。
APD公司是世界工业气体巨头，也是电子特种气体行业的先驱。APD公司主要生产大宗工业气体和稀有气体。散装工业气体包括诸如氧气、氮气和氩气的气体，以及诸如氢气、氦气、二氧化碳、一氧化碳和合成气的工业气体。2020年营业收入891.9亿美元，净利润17.6亿美元。
◆林德集团
林德集团于1879年在英国成立，2018年与气体巨头普莱克斯合并，成为全球最大的工业气体供应商。林德集团的燃气业务遍布全球，也是最早进入中国布局最多的外资巨头。
2020年，公司销售额达272亿美元，营业利润58亿美元，同比增长10%。林德集团成立联华林德，专注于中国市场。自1984年以来，联华林德在中国大陆和中国台湾省的供气领域一直处于领先地位，并在中国中国大陆和中国台湾省取得了散装气市场份额第一和电子特种气市场份额第五的成绩。
对于半导体，联华林德可以提供广泛的产品组合和涵盖所有制造工艺的大宗气体解决方案；面向平板显示领域，联华林德拥有强大的N2O供应能力和专利合成提纯技术。在太阳能领域，有硅烷(SiH4)和氨(NH3)的全球供应网络；除了TSMC、SMIC、长江存储和长信科技，英特尔大连、三星苏州、BOE和华星光电都是林德集团服务的客户。
◆法国液态空气集团
液化空气集团于1902年在法国巴黎成立，在林德集团和普莱克斯集团合并之前，它是全球市值最大的气体供应商。液化空气集团的气体业务遍布全球，主要为冶金、化工和能源行业的客户提供氧气、氮气、氩气、氢气和一氧化氮等产品，同时也为汽车、制造业、食品、医药和科技行业的客户提供工业气体、造气设备和安全设备。
2020年，法国液化空气集团的年销售额为204.85亿欧元(约合244亿美元)。其中，天然气和服务销售额达196.65亿欧元。
2.2日本公司
日本的特种气体供应在行业中处于领先地位。目前在日本，半导体高纯气体的市场规模约为40亿元，全球市场规模更大，约为335亿元。它的“主战场”是南韩、中国、台湾省、中国大陆和其他东南亚地区。另一方面，供应高纯度气体的制造商仍然是日本公司。如昭和电气、太阳日酸、关东电化工业、ADEKA、日本中央销、住友精华、大金工业等都生产销售各种电子材料。
◆昭和电工
日本昭和电气公司成立于1939年，是世界知名的综合性集团企业，生产多个领域的产品，下设化学事业部，专门从事工业气体和电子材料用高纯气体的研发和生产。
◆太阳能酸
TaiyoNipponSanso(太阳日酸)大阳日酸株式会社成立于1910年，是日本最大的工业气体制造商，至今已有近110年的发展历史。同时，公司是领先的半导体气体供应商，广泛应用于IC(集成电路)和存储器(半导体存储设备)、液晶、太阳能电池、LED、超细机械结构等领域。Solar acid的电子专用气体产品涵盖了半导体制造过程中的不同环节，如沉积、清洗、刻蚀、离子注入等，还兼顾了惰性气体类别进行保护。除了直接提供气体产品，太阳能酸还为客户提供一系列气体设备，用于现场制备和储存气体。
◆关东电化
日本关东电化工业株式会社历史悠久，技术积累深厚。成立于1938年，在电解领域积累了深厚的知识和技能，主要是氢氟酸电解制备高纯氟气。主要应用领域包括电池化学、医药化学和农业化学。日本关东电化工业在半导体领域主要以氟化物气体为主。生产方面，涵盖半导体清洗、刻蚀、沉积。
◆ Adico
ADEKA是一家历史悠久的综合性食品和化学品供应商。。
ADEKA主要使用半导体电子专用气体中的三种蚀刻气体。它们是高纯氯、高纯溴化氢和高纯三氯化硼。这三种气体在半导体材料的蚀刻过程中有重要的应用。
2.3国内公司
通过对国内电子专用气公司的梳理，国内专用气公司在四个层面实现了国产替代:
1.通过产能优势快速切入半导体蚀刻气体，部分含氟气体已被国内替代，如三氟化氮、六氟化硫等。代表企业有AVIC (718)、昊华科技(黎明所)、雅克科技(科美特)、南大光电(袁菲燃气)。
2.通过技术升级切入半导体化学沉积，国内部分替代品初见成效，如六氟化钨、四氟化碳等。代表企业有AVIC (718)、昊华科技(黎明所)、雅克科技(科美特)。
3.通过一种特殊气体进入核心供应商，并切入各种半导体气体。代表企业有瓦尔特燃气、南大光电。
4.从空分气体或大化工进入半导体领域，有技术和产能储备，代表企业有巨化(中巨鑫)、三福、金鸿燃气、科美特燃气、河源燃气等。
◆ AVIC重工(718所)
主要涉及气体:蚀刻气体、钨沉积气体。
718研究所成立于1966年，总部位于河北省邯郸市，隶属于世界500强企业中国海运集团有限公司，形成了电子特种气体材料、精细化工、空气净化、氢能产业、核电装备、节能环保、安全信息工程、特种装备等八大产业方向。
目前，CSIC 718研究所(佩里特种气体有限公司)生产的三氟化氮、六氟化钨、三氟甲磺酸系列产品居国内首位，还销往国外20多个国家和地区。
◆浩华科技
主要涉及气体:蚀刻气体、钨沉积气体。
昊华化工科技集团有限公司(昊华科技)及其下属研究所历史悠久，积淀深厚。
昊华科技的黎明所和Komyoin是承担主要电子特种气体业务的子公司。其中，Komyoin以氢化物气体为主，如硫化氢硒化氢；而黎明医院则以氟化气体为主，如三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨等。
公司子公司黎明院是国内最早从事六氟化硫研发的企业，也是国内唯一的高纯六氟化硫研发企业。黎明医院的含氟气体达到国内领先水平，以六氟化硫和三氟化氮为主。
Komyoin的主要产品是各种特种气体和工业气体，并提供成套的工艺设计、设备加工、技术转让和气体检测服务。
◆沃尔特瓦斯
主要涉及气体:光刻气体、蚀刻气体、掺杂气体等。
广东华特气体有限公司成立于1999年。其主营业务以特种气体的研发、生产和销售为主，通用工业气体及相关气体设备和工程业务为辅。截至目前，公司拥有特种气体产品230余种，率先实现了高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、光刻气体、高纯二氧化碳等近20种产品的进口替代。它是中国特殊气体国产化的先驱。
◆雅科科技
主要与气体有关:蚀刻气体。
雅克科技股份有限公司是深圳证券交易所上市公司。2017年10月，公司收购成都科美特特种气体有限公司90%股权和江苏先科半导体新材料有限公司84.825%股权，在电子特种气体方面，雅克科技“电子”事业部目前生产和销售四氟化碳和六氟化硫，可用于刻蚀半导体和清洗半导体制造设备。除了目前在售的三氟化碳和六氟化硫，雅克科技还计划增加三氟化氮和高纯度氢气的产能。
慧星产品已进入半导体专用气体供应链。彗星现在拥有年产8500吨六氟化硫和1200吨电子级四氟化碳的生产能力，3500吨电子级半导体用三氟化氮项目正在建设中。慧星对高纯含氟特种气体的制备、净化、灌装等关键技术有着独特的理解。通过积极研发，慧星开发出高附加值的IC电子特种气体产品，半导体级四氟化碳已量产销售，六氟化硫达到电子级标准。
◆南大光电
主要涉及气体:离子注入气体、蚀刻气体和钨沉积气体。
江苏南大光电材料有限公司是一家专业从事R&D、高纯电子材料生产和销售的高新技术企业。南大光电是基于LED气体，冲击集成电路专用气体。南大光电的电子气在LED领域占据主导地位。南大光电的主要产品摩源在国内外LED市场处于领先地位，是欧司朗、飞利浦、科锐等跨国公司的重要供应商。
◆金鸿燃气
主要与气体有关:蚀刻气体、沉积气体。
苏州金鸿燃气有限公司成立于1999年，是一家专业从事燃气研发、生产、销售和服务的环保集约化综合燃气供应商。初步建立了门类齐全、布局合理、分布可靠的燃气供应和服务网络，可为电子半导体、医疗健康、节能环保、新材料、新能源、高端装备制造等行业的客户提供特种气、大宗气、天然气三大类100多个燃气品种。
◆巨化股份
主要与气体有关:蚀刻气体、沉积气体。
巨化股份是我国氟化工行业的龙头企业，由基础化工企业逐步转型而来。巨化股份有限公司成立于1998年。经过20多年的发展，巨化股份已经形成了包括基础配套原料、氟制冷剂、有机氟单体、含氟聚合物、含氟特种化学品在内的完整氟化工产业链，涉足石油化工行业。
前期大力投资电子特气，博瑞电子成立子公司博瑞电子，专注于电子特气的生产和销售，数年来大力投资建设电子特气技术和产能。
◆凯美特燃气
主要与气体有关:稀有气体。
科美特气体是中国国内化工尾气分离行业的领导者。科美特燃气进军电子燃气业务，建设了25套电子特种燃气项目生产装置，采用低温吸附、深冷精馏分离、电解、催化合成技术。本项目产品为电子特种气体的“高端、精细、专业”混合气体和同位素，属于电子化工和核能范围内的同位素，用途广泛，主要用于生产环节的隔离和氧化，作为保护气体、半导体洁净气体等。
◆三福股份
主要与气体有关:外延沉积气体。
三福股份是一家资源综合利用、循环工业发展的高科技化工企业。2017年6月，在沪市上市。三福的主要产品包括三氯氢硅、四氯化硅、光纤四氯化硅、氢氧化钾、硫酸钾和特种气体。
◆河源燃气
主要涉及气体:空分大宗气体、高纯氢气和氧气。
致力于各类气体产品的研发、生产、销售和服务以及工业尾气的回收利用，公司经营的主要气体大致可分为三大类:普通气体、特种气体和清洁能源。主要满足化工、食品能源、照明、家电、钢铁、机械、农业等基础产业和光伏、通信、电子、医疗等新兴产业对燃气和清洁能源的需求。
国内部分电子气发展迅速，已经进入下游客户的供应链。例如:
华特气体的高纯度氟化烷烃已进入英特尔、美光科技、德州仪器、海力士等国际客户和SMIC、华虹李鸿、长江存储、武汉新芯、华润微电子、TSMC(中国)、和舰科技、石兰微电子、玉柔科技、BOE等客户的供应链。2017年，其光刻气体产品通过了全球最大的光刻机供应商ASML的产品认证，是中国唯一一家。
金鸿燃气是中国第一家打破高纯氨技术垄断的公司，获得了连欣、华润微、BOE、三星电子的认证，在中国的市场占有率超过50%。
浩华科技的六氟化硫、三氟化氮，南大光电的磷烷、砷烷，北方特种气体的乙硼烷，硅烷科技的硅烷，百瑞特气体的三氟化氮、六氟化钨等。都是通过自主研发打破了国外的技术垄断，在一定程度上得到了客户的认可。
外资燃气公司在中国的垄断被松绑，电子特供燃气市场将在中国迎来越来越多的“核心”力量。
