公司亮点:1。凯仕通已实现离子注入机集成电路、光伏、AMOLED全覆盖，首批商用设备逐步顺利交付。今年上半年，手中订单超过7.5亿元，促进了1-N的有效产品转型和市场转型，在没有国内竞争对手的情况下，处于寡头垄断地位。后期这部分业绩有望加速。
2.佳信半导体产品规划思路清晰，前设备产能多元化，打造了前集成设备交付方案，涵盖蚀刻机、薄膜沉积设备、快速热处理设备等。成立后，手中订单超过3.4亿元，得到知名专家加持，市场前景一片光明。
3.浙江省CompartSystems主要专注于流量控制领域的精密元件。其产品涵盖半导体设备的流量控制元件、组件、密封件、气体棒组件和质量流量控制器(MFC)。拥有多年为全球领先半导体设备厂供货的成熟经验，帮助国内半导体设备厂商快速推进核心零部件国产化。
4.半导体产业的投资额不会受到国际经济形势和大国关系的影响，其发展将是一条独立于世界经济和贸易发展的特殊发展道路。国产半导体设备和材料的发展将和新能源汽车的发展一样，是稳步上升，不可阻挡的历史潮流。
第一部分:叶晚半导体产业企业布局的基本情况
道上海企业股份有限公司(股票简称企业，股票代码:600641)成立于1991年10月。是一家具有新兴产业基因的高科技上市公司。公司聚焦集成电路设备国产化的发展机遇，致力于关键工艺设备和配套设备的国产化，为汽车芯片、功率芯片、逻辑芯片等集成电路晶圆厂商提供完整的解决方案。叶晚企业最初由上海陆家嘴金融贸易区开发公司、上海投资信托公司、中国人民建设银行上海信托投资公司和中海上海房地产开发公司发起设立。2015年，普克投资作为叶晚企业的第一大股东，为公司制定了新的战略目标。 进而投资与国家战略相关的集成电路产业，对多家设备和材料龙头进行战略投资，实施“外延M&A+产业整合”的半导体产业定位，成为国内集成电路产业链发展最完整的设备和材料平台公司之一。(普克投资是国内顶尖的科技创投力量之一。投资了许多半导体优质企业，包括先进半导体、中威、梅生、兰琪、鑫源微等。，并对展讯通信和锐迪科发出要约，成功对兰琪科技和香港先进半导体发出要约。)
图1:叶晚企业的发展历程
图2:叶晚企业与控股股东的产权及控制关系。
近年来，叶晚企业加快从原来的房地产业务向集成电路核心设备平台型公司转型，完成了集成电路前驱设备和半导体设备零部件的布局。公司在房地产领域主要从事住宅地产的开发，业务范围主要集中在上海、苏州、无锡等长三角地区。主要产品为高层公寓、多层住宅、别墅。公司集成电路核心设备布局主要有三个:一是子公司凯斯通的离子注入机，主要负责国际领先的集成电路、光伏、AMOLED领域高端离子注入机的研发、生产和销售，技术行业领先；第二，2021年，公司携手嘉信半导体， 由宁波新恩设立，建设刻蚀、薄膜沉积、快速热处理等3-4种主要工艺核心设备，以及多种配套设备；第三，2020年12月，公司带领国内外投资者收购半导体设备流控领域全球领先的元器件供应商——浙江康博系统公司。考虑到叶晚企业的战略重点主要在集成电路领域，下面将重点介绍这三家半导体公司的基本情况。
图3:叶晚企业在半导体领域的控股或参股情况。
第二部分是叶晚企业集成电路核心设备布局。
1.卡斯顿:R&D团队经验丰富，离子注入机已经实现了28nm-7nm的全技术覆盖。
2009年凯世通创业之初，公司先从离子注入机的零部件、减速器、减速结构、离子源等领域切入，后于2012年研发出第一台光伏离子注入机。目前，Castone的设备业务是以离子束技术为核心，集R&D和制造为一体的高科技项目。其主要任务是研发、生产和销售世界领先的高端离子注入机，主要应用于半导体集成电路、光伏太阳能电池和AMOLED显示屏。其营业收入包括自产离子注入机、离子注入平台、离子注入机备件以及产品和服务的定制和再制造。
离子注入是一种通过掺杂各种元素来改变半导体材料特性的工艺，广泛应用于集成电路(IC)行业。离子注入机作为掺杂工艺的核心设备，是先进集成电路生产线中最关键的工具之一，占晶圆厂总设备投资的10%。但是IC离子注入机价格昂贵，占地面积巨大，使得离子注入技术在光伏行业没有得到广泛应用。凯仕通根据太阳能电池技术的实际情况和需求，为光伏行业定制了大束流离子注入机。
目前，Castone的技术能力已经能够满足国内晶圆代工厂所有技术节点的离子注入机需求，尤其是覆盖28nm节点，意义重大。卡斯顿以离子束技术为核心，不断加大投入，开发低能强束离子注入和高能离子注入产品。先进工艺需要低能高束离子注入，特殊工艺需要高能注入机。目前不仅可以覆盖28纳米主流成熟半导体工艺；同时，努力开发14 nm工艺之外的FinFET集成电路离子注入机。随着集成电路芯片工艺的不断小型化，卡斯顿选择了“领先一步”的产品定位策略 满足国内外客户在先进工艺芯片制造中的离子注入要求。在“10nm及以下三维器件结构FinFET集成电路离子注入机研发及产业化”科技项目的支持下，开发了面向前沿技术的离子注入机，建立了相应的研发平台、核心关键技术及工艺研究参数数据库和性能测试标准。
光伏离子注入机方面，嘉实多研发了新一代的iPV6000光伏离子注入机产品，该机的产能比上一代iPV3000光伏离子注入机提升50%。iPV6000产品的验证已经完成，这将进一步提高Castone在光伏离子注入机市场的竞争力。
图4:叶晚旗下卡斯顿的三条产品线。
2.嘉信半导体:前期设备多元化产能建设，预计年产值2500台设备。
嘉信半导体作为半导体前驱设备群最重要的“N”，投产后每年将生产2500台/套集成电路设备。涉及的产品将涵盖蚀刻机、快速热处理、薄膜沉积、尾气处理等多种8/12英寸半导体设备。能够自主研发制造刻蚀、镀膜等多种产品，致力于实现关键工艺设备和配套设备的国产化。
嘉信半导体自2021年第四季度运营以来，营业收入迅速实现突破，累计新订单金额超过3.4亿元。旗下嘉信弘阳、嘉信佳能成功中标的数量已超过20台，包括刻蚀、薄膜沉积、快速热处理(RTP)等核心前驱设备。
3.CompartSystems:拓展M&A提升核心竞争力，构建国产装备零部件完整生态。
2020年12月22日，叶晚企业宣布牵头国内外财团收购全球领先的半导体设备流控组件及解决方案供应商CompartSystems。本次收购交易的基准价为3.98亿美元，交割完成后叶晚企业成为第一大股东。
CompartSystems是全球领先的流量控制系统领域的零部件供应商，也是全球为数不多的能够完成该领域零部件精密加工各个环节的公司。现归浙江立信和立信控股所有。其主要产品包括BTP(BuiltToPrint)元件、组件、密封件、气体棒组件、气体流量控制器(MFC)、焊接件等。产品用于集成电路制造过程中氧化/扩散、蚀刻和沉积设备的精密气体输送系统，也是世界上少数几家能够提供气体流量控制器(MFC)组件的公司之一。在半导体设备的制造中，关键部件大致可以分为五类，包括真空泵、射频电源、硅片传输、气体和液体控制、 等等。康铂是流量控制系统的核心供应商之一。CompartSystems还可以为工业、航空航天、石油和天然气领域的客户提供包括高精度金属加工零件、流量控制传感器、控制阀组件等产品。
目前，CompartSystems总部位于新加坡，在中国深圳和马来西亚古林设有工厂，全球员工约1400人。其灵活的产能布局和全球销售体系为客户提供了多种交付渠道。CompartSystems的客户主要是知名设备制造商和领先的工业企业集团。收购完成后，CompartSystems的国内市场开发继续推进，这将有助于国内半导体设备制造商快速推进关键核心部件的国产化进程。2022年5月，第二期大基金向浙江堪信增资3.5亿元。
第三部分是叶晚企业半导体业务的发展
2021年，叶晚企业实现整体营业收入8.8亿元；归属于上市公司股东的净利润3.77亿元，同比增长19.42%；集成电路设备收入1.23亿元，同比增长464.83%。2022年上半年集成电路设备制造业务收入同比增长150.86%，2022年初至今在手订单已近11亿元。公司半导体收入增长很快，手里订单满满的。公司收入和订单有望迎来持续高增长。
图5:叶晚企业2018-2022上半年基本收入(万元)
2018-2020年，卡斯顿实现营业收入1.08亿元、0.83亿元、0.21亿元，呈大幅下滑趋势，主要原因是卡斯顿处于产品战略转型升级的推进阶段，团队集中精力研发集成电路离子注入机。2021年上半年，嘉实多扭亏为盈，分别实现营收0.35亿元和净利润200万元，主要原因是嘉实多2021年上半年在设备验证、产品交付和订单签订方面取得显著进展，其自主研发的第一台低能高束离子注入机完成设备验证并确认销售收入。
2022年上半年，卡斯顿装备产品综合性能持续提升，获得客户重复采购和批量订单。
2022年Q1，Castone获得了一个重要客户的批量订单，包括一台12英寸低能高束离子注入机和一台低能高束超低温离子注入机，并与一家集成电路制造商签订了一台低能高束离子注入机的订单。2022年，在Q2，Castone从第三集成电路制造厂赢得了三台低能高束离子注入机的订单。
2022年以来，叶晚企业累计获得集成电路设备在手订单近11亿元，其中凯仕通H1累计获得三家客户多台离子注入机在手订单超过7.5亿元，业务正式进入放量期。到目前为止，Castone研发制造的多种IC离子注入机，包括低能高射束离子注入机、低能高射束重金属离子注入机、低能高射束超低温离子注入机、高能离子注入机，已经在12英寸主流晶圆厂通过了客户的验证和验收。
嘉信半导体自2021Q4正式投产以来，到21世纪末实现了相关设备产品销售收入的突破。自2022年7月起，嘉信半导体获得多项成熟晶圆厂特色工艺生产线的设备订单，包括快速热处理(RTP)设备、氮化硅等离子蚀刻机、金属等离子蚀刻机、侧壁等离子蚀刻机、高密度等离子薄膜沉积设备、二氧化硅等离子薄膜沉积设备等。嘉信宏阳和嘉信佳能都是嘉信半导体的控股子公司，近期中标了多项设备，标志着嘉信半导体进入快速发展期，公司从离子注入机转型。
2021年，浙江堪信(CompartSystems的收购主体)实现营业收入9.2亿元，净利润1.01亿元。2017年至2019年，CompartSystems分别实现营业收入9637万美元、8227万美元和7571万美元。公司致力于持续开拓国内市场，相关产品已进入另一家全球顶级半导体设备公司的供应链，预计今年下半年将释放更多订单。2022年上半年，公司参股公司浙江新芯营业收入5.04亿元，同比增长13.83%。
第四部分:叶晚企业设备产品市场。
根据当地主流12英寸晶圆厂的最新统计，预计离子注入机占现有规划的当地晶圆生产线扩建的资本支出的近10%，其价值比例不断上升。目前，离子注入机的市场份额高度集中，主要由国外公司垄断。美国应用材料公司和Axcelis占据了全球大部分IC离子注入机的市场份额，其中美国应用材料公司占50%以上，Axcelis的主要产品高能离子注入机占55%。
图6:离子注入机行业世界领先企业示意图。
目前，叶晚企业旗下Castone的离子注入机已经供应给国内主流的12英寸晶圆厂，成为其战略供应商。在Castone产能充分释放的前提下，受益于国内主流客户认可的大宗采购战略供应商认可，以及与全球知名半导体行业专家的良好合作关系，叶晚将在半导体前驱设备国产化的浪潮下，形成离子注入机独特的行业格局，未来3-5年离子注入机的增长空间将来自SMIC、Gita半导体、华虹半导体、硅烷微、华润微和长江存储。
嘉信半导体总投资约20亿元，预计后续订单量将逐步稳步增长。根据公司与嘉善县唐玺镇人民政府签订的投资协议，未来年产量将达到2500台/套设备，新增设备占比95%以上。目前，嘉信半导体经营状况良好。自去年成立以来，一直租用厂房进行设备研发和制造。预计随着项目车间和人才的逐步到位，将更好地赋能公司构建“1+N”产业链模式。从嘉兴半导体目前的招标情况来看，嘉信半导体设备正在完成多个设备品类进入国内主流晶圆厂供应链的突破，巩固“1+N”战略， 不断满足当地晶圆厂的高需求。公司未来有望成为国内核心设备产品最丰富的平台之一。同时，2021年，公司竞得浙江省嘉善县109亩国有建设用地使用权。目前，嘉信半导体R&D制造基地正在建设中。
浙江康博系统有限公司是半导体设备流程控制领域零部件和解决方案的领先企业。由于集成电路领域化学气体产品的特殊性，集成电路设备中的氧化/扩散、刻蚀、沉积等过程都需要精确的气体输送系统，因此气体的纯度和安全性要求极高，任何一个故障都会导致不可估量的损失。只有使用经过特殊处理的材料和部件，才能保证输气系统的稳定性，保证生产过程的纯净和安全，保证工艺的纯净和安全。在全球行业地位方面，CompartSystems的K1S和C-Seal产品在输气系统表面贴装行业处于领先地位，拥有下一代产品iBlock和Ultra-Seal的专利，引领行业走向创新技术前沿。
从国内市场来看，mainland China晶圆产能的扩张速度快于全球平均水平。根据ICInsights的数据，截至2020年12月，中国大陆的晶圆产能为318万片/月(相当于8英寸)，占全球的15.3%。随着半导体制造硅片产能不断向中国转移，预计到2025年产能将提升至18%。国内晶圆产能的快速增长将大幅提升对国产设备的需求，各企业的设备平台布局有望受益于行业景气。
(校对/邓秋贤)
