| 品牌 | 美国Alicat | 型号 | MCS |
| 货号 | MCS | 工作温度 | -20-50℃ |
| 测量范围 | 0.6m3/h | 精度等级 | 0.1 |
| 测量精度 | 0.1 | 安装形式 | 水平安装 |
| 重量 | 0.6kg |
ALICAT耐腐蚀质量流量计国内代理
ALICAT耐腐蚀质量流量计可、快速测量
腐蚀性气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的质量
流量、体积流量、压力和温度。SQ22系列质量流量控制器
通过定制化的高速比例控制阀还可控制腐蚀性过程
气体的质量流量、体积流量和压力。
性能参数
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性能/参数
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ALICAT耐腐蚀质量流量计
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流量范围
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0.5SCCM-5000SLPM
可自行修改流量单位如kg/h、g/min等
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标定气体
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内置130条气体可选择
含腐蚀气体(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)
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精度(调零后)
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±(0.8%Rd+0.2%FS)
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高精度(调零后)
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±(0.4%Rd+0.2%FS) ,限于5SCCM-500SLPM
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重复性
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±0.2%FS
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漂移(零点/满量程)
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0.02% F.S/oC/Atm
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工作范围
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0.5-100%
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响应时间
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10毫秒 (调整)
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启动预热时间
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1秒内
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标准工况
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25oC & 14.696 psia，可自定义修改
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工作温度范围
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-10~-50℃(另有高温订制品)
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工作湿度范围
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0-100%RH(非冷凝)
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工作压力
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10Bar
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压差
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5Bar
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安装方向
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任意
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阀门状态
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常闭
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材质
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SUS316L不锈钢、密封圈FFKM(Kalrez)
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显示屏
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背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度
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数字信号
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标准RS232
选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet
以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)
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模拟信号
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标准0-5V/1-5V/0-10V
选配:4-20mA
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第二路模拟信号
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标准0-5V/1-5V/0-10V
选配:4-20mA
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电气接口
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标准圆形8芯
选配:圆形6芯、DB9、DB15
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供电电压
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+24VDC
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消耗电流
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100mA
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