| 品牌 | ALICAT | 型号 | MC5901 |
| 货号 | vn01 | 原理 | 差压式质量流量计 |
| 用途 | 气体流量计 | 公称通径 | 8mmmm |
| 工作温度 | 20-50℃ | 测量范围 | 0-500SCCMm3/h |
| 精度等级 | 1% | 测量精度 | 1% |
| 安装形式 | 任意方向 | 重量 | 0.8kg |
| 规格 | SG-VN05 | 加工定制 | 否 |
| 是否进口 | 是 | 产地 | 美国 |
重庆科里奥利质量流量控制器艾丽卡特5930D4进口质量流量计
美国ALICATMC20
系列质量流量控制器
Alicat的LK2系列数字式质量流量控制器可通过定制化的高速比例调节阀
测量与控制过程气体的质量流量体积流量和压力，还可同时测量并显示
气体温度。
MC20系列质量流量控制器内部无可移动组件和热元件通过抗振动测试
对安装方向不敏感。Alicat提供总体的用户支持，包括技术咨询
快捷的设备校准服务和质保。
重庆科里奥利质量流量控制器艾丽卡特5930D4进口质量流量计
标准精度0.8%RD+0.2%FS、高精度0.4%RD+0.2%FS
有效范围0.5-
内置90-130条气体曲线可选
响应速度100MS
多种数字信号可选
重庆科里奥利质量流量控制器艾丽卡特5930D4进口质量流量计
性能/参数
| MC20系列质量流量控制器
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流量范围
| 0.5SCCM-5000SLPM
可自行修改流量单位如kg/h、g/min等
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标定气体
| 内置90条气体可选择
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精度(调零后)
| ±(0.8%Rd+0.2%FS)
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高精度(调零后)
| ±(0.4%Rd+0.2%FS) ,限于5SCCM-500SLPM
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重复性
| ±0.2%FS
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漂移(零点/满量程)
| 0.02% F.S/oC/Atm
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工作范围
| 0.5-
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响应时间
| 100毫秒 (调整)
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启动预热时间
| 1秒内
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标准工况
| 25oC & 14.696 psia，可自定义修改
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工作温度范围
| -10~-50℃(另有高温订制品)
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工作湿度范围
| 0-RH(非冷凝)
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工作压力
| 10Bar
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安装方向
| 任意
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阀门状态
| 常闭
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材质
| SUS302\303\304不锈钢、密封圈VITON
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显示屏
| 背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度
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数字信号
| 标准RS232
选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet
以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)
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模拟信号
| 标准0-5V/1-5V/0-10V
选配:4-20mA
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第二路模拟信号
| 标准0-5V/1-5V/0-10V
选配:4-20mA
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电气接口
| 标准圆形8芯
选配:圆形6芯、DB9、DB15
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供电电压
| +24VDC
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消耗电流
| 20SLPM以内：250mA
50SLPM以内：750mA
注：5000SLPM消耗2000mA电流
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MOX传感器MCM设备的组成。测试系统需求为了测试这些设备，测试系统需要具备以下功能和属性：测试/校准MOX传感器的时间可能需要几十分钟。由于需要在真空和目标气体“浸泡”传感器，所以需要很长的“soak”时间。显然，使用大型、高性能的半导体测试仪，在soak期间需要闲置一段时间，这样不能有效的利用这些昂贵的资源。所以，解决方案必须具有较低的初始资本成本。测试吞吐量很重要。由于驻留时间长，因此系统必须支持非常大的并行测试能力，这样才能将soak时间内分摊到多个设备上DUT负载板必须位于一个可以对气体浓度进行控制的封闭环境中。
