| 品牌 | 格里尔斯GRYLLS | 型号 | 5931D4 |
| 货号 | GRY310MC | 原理 | 质量流量计 |
| 用途 | 气体流量计 | 公称通径 | 14mmmm |
| 工作温度 | -10-60℃ | 测量范围 | 0-500SLMm3/h |
| 精度等级 | 0.5%FS | 测量精度 | 0.5%FS |
| 安装形式 | 硬管连接 | 重量 | 1kg |
| 规格 | 科氏 |
新疆差压式液体质量流量计5910D4
质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器
新疆差压式液体质量流量计5910D4
主要技术指标
1
| 量程范围
| （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
|
2
| 准确度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
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3
| 线性
| ±0.5~1.5%F.S
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4
| 重复精度
| ±0.2%F.S
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5
| 响应时间
| 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec
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6
| 工作压差
| 0.1~0.5MPa
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7
| 耐压
| 3MPa
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8
| 工作环境温度
| 0~70℃
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9
| 数字量
| RS485 MODBUS协议
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10
| 模拟量
| DC 0~5V ，4~20mA 可选
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11
| 供电
| DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA
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12
| 电气连接
| DB15
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13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
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14
| 底座材质
| 316L不锈钢
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15
| 密封材质
| 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
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16
| 气路接头
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
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新疆差压式液体质量流量计5910D4
气体质量流量控制器的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内。
为得到对比度和成像清晰度，需要用到几种光源，检查时由程序来选择光源、颜色组合和光强，以达到视觉效果。为了确保识别的正确性，元件的高度必须小于8mm(从PCB板表面到元件顶端)。由于矢量成像技术用到的是几何信息，所以元件是否旋转、得到的图形与参考模型大小是否一致都没有影响，而且也和产品颜色、光照和背景等的变化无关。矢量成像检查分三部进行：矢量成像系统在元件影像图上找出主要特征并将其分离出来，然后对这些显著特征进行测量，包括形状、尺寸、角度、弧度和明暗度等；检查合成图象和被测元件图像主要特征的空间关系；，不论元件旋转角度、大小或相对其背景的总体外观如何，它在线路板上的x、y和θ值都可通过计算确定下来。
