| 品牌 | 格里尔斯 | 型号 | 5950DD4 |
| 货号 | GRY310MC | 原理 | 质量流量计 |
| 用途 | 气体流量计 | 公称通径 | 6mmmm |
| 工作温度 | -20-60℃ | 测量范围 | 0-10SCCMm3/h |
| 精度等级 | 0.5%RD | 测量精度 | 0.5%RD |
| 安装形式 | 软管连接 | 重量 | 1kg |
| 规格 | 热式 |
青海模拟量液体质量流量计5911DD4
质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器
青海模拟量液体质量流量计5911DD4
主要技术指标
1
| 量程范围
| （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
|
2
| 准确度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
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3
| 线性
| ±0.5~1.5%F.S
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4
| 重复精度
| ±0.2%F.S
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5
| 响应时间
| 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec
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6
| 工作压差
| 0.1~0.5MPa
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7
| 耐压
| 3MPa
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8
| 工作环境温度
| 0~70℃
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9
| 数字量
| RS485 MODBUS协议
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10
| 模拟量
| DC 0~5V ，4~20mA 可选
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11
| 供电
| DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA
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12
| 电气连接
| DB15
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13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
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14
| 底座材质
| 316L不锈钢
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15
| 密封材质
| 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
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16
| 气路接头
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
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青海模拟量液体质量流量计5911DD4
气体质量流量控制器的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内。
为了使用于LED供电电源设计的每分钱都充分发挥作用，我们在本文中提出了一个方案——封闭实际光输出的控制回路。半导体照明这一新兴领域的出现，使同时专长于电力电子学、光学和热管理学(机械工程)这三个领域的工程师成为人才。目前，在三个领域都富有经验的工程师并不很多，而这通常意味着系统工程师或者整体产品工程师的背景要和这三大领域相关，同时他们还需尽可能与其他领域的工程师协作。系统工程师常常会把自己原领域养成的习惯或积累的经验带入设计工作中，这和一个主要研究数位系统的电子工程师转去解决电源管理问题时所遇到的情况相同：他们可能依靠单纯的模拟，不在试验台上对电源做测试就直接在电路板上布线，因为他们没有认识到：开关稳压器需要仔细检查电路板布局；另外，如果没有经过试验台测试，实际的工作情况很难与模拟一致。
