| 品牌 | 格里尔斯 | 型号 | 5910DD4 |
| 货号 | GRY310MC | 原理 | 质量流量计 |
| 用途 | 气体流量计 | 公称通径 | 4mmmm |
| 工作温度 | 0-60℃ | 测量范围 | 0-0.5SCCMm3/h |
| 精度等级 | 0.2%RD | 测量精度 | 0.2%RD |
| 安装形式 | 软管连接 | 重量 | 1kg |
| 规格 | 热式 |
陕西数字量气体质量流量计5911DD4
质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器
陕西数字量气体质量流量计5911DD4
主要技术指标
1
| 量程范围
| （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM （0~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000） SLM
|
2
| 准确度
| ±1%F.S ±0.5%F.S
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3
| 线性
| ±0.5~1.5%F.S
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4
| 重复精度
| ±0.2%F.S
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5
| 响应时间
| 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec
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6
| 工作压差
| 0.1~0.5MPa
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7
| 耐压
| 3MPa
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8
| 工作环境温度
| 0~70℃
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9
| 数字量
| RS485 MODBUS协议
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10
| 模拟量
| DC 0~5V ，4~20mA 可选
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11
| 供电
| DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA
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12
| 电气连接
| DB15
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13
| 漏率
| 1×10-8SCCSHe
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14
| 底座材质
| 316L不锈钢
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15
| 密封材质
| 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
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16
| 气路接头
| Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞
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陕西数字量气体质量流量计5911DD4
气体质量流量控制器的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器，能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值，然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器（RTD）。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上，牢固且可靠。整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内。
从差分波形上解码更加准确，因为差分波形滤除了线路上的共模干扰信号。但是很遗憾，目前PicoScope6软件的串行解码功能只能从CANH或CANL波形上进行解码，暂时还无法实现从差分波形上进行解码。PicoScope6串行解码功能解码设置Pico的任何一台示波器都具有串行解码的功能，不同系列的区别在于示波器硬件参数高时，采集到的波形更加平滑，噪声小。在进行解码时，我们可以只从CAN高波形上进行解码，或只从CAN低波形上进行解码，或者同时对CANH和CANL波形进行解码。
