天津数字量气体质量流量计5920DD4

 
 
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品牌 GRYLLS格里尔斯
型号 5930DD4
过期 长期有效
更新 2023-04-27 17:56
 

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详细说明
品牌

GRYLLS格里尔斯

型号

5930DD4

货号

GRY310MC

原理

质量流量计

用途

气体流量计

公称通径

12mmmm

工作温度

0-80℃

测量范围

0-20SLMm3/h

精度等级

0.5%FS

测量精度

0.5%FS

安装形式

硬管连接

重量

1kg

规格

差压

  天津数字量气体质量流量计5920DD4


  质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空灯多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括:电子工艺设备,如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入;以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器

  天津数字量气体质量流量计5920DD4


主要技术指标

  1

  

  量程范围

  

  (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500...)SCCM

  (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500...3000) SLM

  

  2

  

  准确度

  

  ±1%F.S ±0.5%F.S

  

  3

  

  线性

  

  ±0.5~1.5%F.S

  

  4

  

  重复精度

  

  ±0.2%F.S

  

  5

  

  响应时间

  

  电特性:10sec 气特性:(1~4)sec

  

  6

  

  工作压差

  

  0.1~0.5MPa

  

  7

  

  耐压

  

  3MPa

  

  8

  

  工作环境温度

  

  0~70℃

  

  9

  

  数字量

  

  RS485 MODBUS协议

  

  10

  

  模拟量

  

  DC 0~5V ,4~20mA 可选

  

  11

  

  供电

  

  DC +15V/24V 可选,流量计<400mA,控制器<600mA

  

  12

  

  电气连接

  

  DB15

  

  13

  

  漏率

  

  1×10-8SCCSHe

  

  14

  

  底座材质

  

  316L不锈钢

  

  15

  

  密封材质

  

  氟橡胶,丁晴橡胶,氯丁橡胶

  

  16

  

  气路接头

  

  Φ3,Φ6,Φ10,1/8〞,1/4〞,3/8〞

  

  天津数字量气体质量流量计5920DD4


  气体质量流量控制器的精度、坚固性及可靠性源于我公司独特的传感器探头。该密封探头由两传感元件组成──速度传感器及温度传感器,能自动校正温度及压力变化产生的影响。仪表电路将速度传感器加热到高于气体温度的一个常数值,然后测量气体流量的冷却效果。通过测量保持恒定温差所消耗的电功率与气体的质量流量成正比的原理计算流量。两传感器均为标准级白金电阻温度探测器(RTD)。白金RTD 丝缠绕在坚固的陶瓷芯轴上,牢固且可靠。整个传感器密封在316 不锈钢包装壳内。




  众所周知,在测量电阻时,四线制测试法往往比两线制测试法结果更。FlukeBT5系列的测试表笔就是采用了四线制测试的设计,但仅凭外观判断,不少工程师会误以为这是两线制测试的表笔,今天小福就带大家来揭秘FlukeBT5系列蓄电池内阻测试仪表笔暗藏的玄机~首先简单科普一下两线制测试和四线制测试的区别:两线制测试原理:如下图所示,此种连接方式即为典型的两线制测试。其中被测电阻为Rb,两根导线的馈线电阻分别为R1和R2,利用已知的I及V12,即可得到结果,但结果R=(R1+R2+Rb),包含了馈线电阻,阻值比实际偏大。

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