NanoXSpot微焦点测试仪，NanoXSpot焦点测试仪用于对光斑尺寸 <100 µm 的 X 射线管进行质量保证，根据 prEN 12453-6、prEN 12453-7 评估焦点尺寸 <100 µm 和光斑形状
欧洲计量创新与研究计划项目开发了新的 NanoXSpot (NxS) 测量仪，具有线组、西门子星形和孔图，用于测量小至 100 纳米的聚焦光斑
计算机断层扫描 (CT)可以根据从物体周围不同角度拍摄的一系列 X 射线图像重建物体的体积数据集，这项技术被广泛用于医学中的患者诊断。此外，它还被用于航空航天和电子等行业的无损检测、缺陷与内部结构的评估以及产品尺寸的验证。这些行业对检测分辨力的要求小至纳米级。
随着电子设备的小型化变得越来越普遍，以及随着新技术（如电动汽车）的出现和航空工业中轻质化合物的使用，对 5微米或更小分辨力（大约人类头发丝宽度的 1/10）的 CT 测量的需求日益增加。X 射线管的光斑尺寸直接影响到测量分辨力。但是，对于5微米以下的 X 射线管光斑尺寸，没有国际公认的标准或测量方法。X 射线设备制造商采用自有的测量方法导致了不一致的结果。因此，研究人员正在开发基于可溯源表征的测量仪来确定光斑大小、形状和位置的新方法，并将作为这些光斑测量的国际公认标准引入。
欧洲计量创新与研究计划（EMPIR）项目《对光斑小至100纳米的 X 射线管焦斑尺寸的测量 （NanoXSpot，18NRM07）》正在开发新的标准实践，以比目前更高的准确度水平表征 X 射线焦斑。
