脉冲激光沉积简介
脉冲激光沉积是一种广泛应用于各种薄膜制备技术的方法,其原理是将激光聚焦于靶材上较小的面积。通过激光的高能量密度,部分靶材料被蒸发甚至电离,使其能够脱离靶材并向基底运动,进而沉积于基底上,形成薄膜。在众多薄膜制备方法中,脉冲激光沉积技术应用范围广泛,可以制备金属、半导体、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各种物质薄膜,甚至还可以用来制备一些难以合成的材料膜,如金刚石、立方氮化物膜等。
高能核素溅射表面的部分原子,并在入射流与受溅射原子之间,建立了一个碰撞区。通过控制镀膜压力和温度,可以合成一系列具有独特功能的纳米结构和纳米颗粒。此外,脉冲激光沉积(PLD)是一种“数字”技术,在纳米尺度上进行工艺控制(A°/pulse)。
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