流量控制器在高压条件下如何使用?
对于质量流量控制器,它的工作压差范围通常较小,因此在高压条件下使用需要特别注意。为了让质量流量控制器能够稳定地工作在高压条件下,需要选择耐压符合要求的MFC,并挑选工作压差范围大的产品型号。此外,还需要在MFC气路前面加减压阀,稳定入口气压;在MFC下游加背压阀,稳定反应室和MFC出口的气压。通过适当调节减压阀和背压阀,要保证MFC的工作压差不会超过规定的范围。
由于金属密封的MFC价格较高,通常要求不高的场合,均采用橡胶密封的MFC。只要做到以上三点,MFC就能够在高压条件下稳定工作。
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流量控制器对多数用户而言,体积流量的表示方法很符合习惯,便于使用。但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易实现的。对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。因为标准状态下的气体密度是一个常数,可以方便地查到,因而简单地做一个乘法(以密度乘以若干slm)即可实现。所以说,在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。
怎样选择流量显示仪?
我们的流量显示仪非常丰富,可供用户选择的余地很大。我们有单通道(配接一台MFM/MFC)和多通道(配接多台MFM/MFC)产品。流量控制器的性能特点可按设计或实际要求设定流量,能自动消除系统的压差波动,保持流量不变。多通道产品中又有共用显示和分别显示之分(前者体积较小,价格稍便宜,但显示需切换;后者体积较大,但显示直观)。有台式、仪表式、和上架机箱式。有输入输出只能是电压信号的,也有电压和电流信号都行的。多数产品使用交流220V电源,也有产品可使用交流110V电源。有MFC和MFM都能配的,也有单配MFM的。还有流量积算仪可进行瞬时流量和累积流量的显示。
将流量显示仪安装在机柜上的用户,请注意安装的开孔尺寸。
