烘箱干燥的空气速度与空气温度干燥速率主要由空气撞击涂层的表面速度及撞击涂层空气的温度决定。为了做到均匀干燥，就要做到均匀送风与均匀的温度场。在理想情况下，要求空气从喷孔喷射到涂层上，能够与相邻的喷孔喷射到涂层上的空气相互重合，并且喷射到涂层上的空气速度均匀，温度场均匀。为了实现这一目标，必须对互感器进行出厂例行试验，确保其符合国家标准，实验员加盖公章准予出厂。
一般情况下，喷孔形式有圆形喷孔、长方形喷孔及狭缝形喷孔。采用哪种喷孔形式效率较高，本人认为只要系统设计正确，都可采用，实际上这些喷孔系统都普遍地和成功地用在各种不同的产品上。对于特定的工艺，其喷孔的形式，喷孔的布置方法，喷孔的空气速度及空气温度，一般都要经过试验来确定其参数，包括喷孔的开口大小、距纸面的距离、排列位置的间隔及合理的回风道等，以满足均匀干燥的要求。
烘箱外壳一般采用薄钢板制造，表面烤漆，工作室采用优质的结构钢板制造。隧道烘箱的干燥特点包括快速隧道于燥室产量高，投资低，大力推广经济上可行；对高敏感性原料进行瘠化处理，降低干燥收缩和干燥敏感系数，实现快速干燥技术上是可行的；适当提高送风温度、湿度和空气速度，蒸汽加热原料有利于提高干燥速度，缩短干燥时间；把握好干燥各个阶段，找准干燥临界点，加速坯体干燥内扩散和外扩散，是实现快速干燥的主要途径之一；建议在设计和建造快速隧道干燥室时，应对原料进行干燥性能试验。
烘箱选型依据及理由包括：因为烘箱用在光刻工艺，所以对其的洁净度要求比较高，同时用于膜的固化等工艺，保持片内的均匀性、温控系统也是要求较高。烘箱的生产厂家国内和国外都比较多，用途也是多元化的，从价格角度考虑，则把国内生产的烘箱放在首位，因为不论是售后服务还是备件购买都会相对容易一些，价格很低很多。但光刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度。
真空烘箱使用流程包括：将物料均匀放入真空烘箱附带的烘箱内，将烘盘插入烘架车中，推入干燥箱内。
