艾里卡特真空气体质量流量计

　　艾里卡特真空气体质量流量计气体质量流量控制器是真空专用设备。MCE系列产品的特征如下：与我们标准质量流量控制器的控制响应速度一样快，外形包括1/4″ VCR焊接接头且能与SEMI标准气体质量流量控制器实现端对端的匹配连接。

　　MCV和MCE联系紧密，采用内置气动截止阀，适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上，防止在设定点为零时出现污染情况。

　　多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER?气体编辑器确定自己的气体组成。

　　连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。

　　耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。

　　艾里卡特真空气体质量流量计性能

　　可用量程：0-20 slpm； 0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）

　　可调比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）

　　标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数+0.2%满量程）

　　高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数+0.2%满量程）

　　可重复性：0.2%满量程

　　标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）

　　气动阀漏气率（仅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec

　　无需预热时间

　　艾里卡特真空气体质量流量计工作条件

　　兼容气体：98种（MCE/MCV系列）或130种（MCES/MCVS系列）预置可选气体；利用COMPOSER气体编辑器自定义的其它混合气体

　　工作温度：-10°C至+60°C

　　内部压力（静态）：145 psig（160 psia）

　　耐受压力：175 psig（190 psia）

　　STP/NTP：用户可选（默认为25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP）

　　MCE或MCV系列包装清单：

　　MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器（电源需另行订购）

　　NIST可溯源校准证书

　　艾里卡特操作说明书

　　配件（需另行订购）

　　过程端口接头和过滤器

　　电源

　　通讯线缆和转换线缆

　　BB3和BB9多点式集线盒

　　Flow Vision软件