ROHS检测仪就是X射线荧光光谱仪，其分析原理也就是X射线荧光光谱仪的分析原理。X射线荧光光谱仪通常可分为两大类，波长色散X射线荧光光谱仪(WDXRF)和能量色散X射线荧光光谱仪(EDXRF)，波长色散光谱仪主要部件包括激发源、分光晶体和测角仪、探测器等，而能量色散光谱仪则只需激发源和探测器和相关电子与控制部件，相对简单。
可用RoHS检测仪GCMS测试室内有毒物质，但是这个成本较高。一般用紫外分光温度计测试分析甲醛含量是否超标。
RoHS仪器是专门用于测量电子电器设备中是否含有以下六类有害物质的仪器·原理是利用X射线检测ROHS标准规定中的元素的含量。
RoHS检测仪目前市场上常见的类型是X射线荧光分析仪，又分为能量色散型和波长色散型，能量色散型因其技术原理及结构比波长色散型简单，现市场上比较常见，其技术原理：
特征X射线
放射性同位素源或X射线发生器放出的X射线或Γ射线与样品中元素的原子相互作用，逐出原子内层电子。当外层电子补充内层电子时，会放射该原子所固有能量的X射线-特征X射线。