受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。
检测器直接测定的是元素X射线荧光的强度，而我们关心的是元素的含量。利用X射线荧光的强度与元素含量存在比例关系，我们通过测定已知含量的标准样品建立工作曲线(安装工程师设定)，再根据待测样品的X射线荧光的强度通过计算机自动换算为含量值。
来自X射线管的特征X射线照射到样品上，样品中含有的元素受X射线激发后会发出特有能量的X射线荧光。用检测器检测X射线荧光，根据X射线荧光的能量进行定性(确定含有什么元素)，根据X射线荧光的强度进行定量(确定元素的含量)。
采用半导体探测器和多道脉冲高度分析器可提高分辨本领，由微处理机处理，可同时恻定试样中}o一sn种元素，分析速度快。