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公司新闻
一文读懂IGBT
2023-06-19IP属地 湖北39

  IGBT是一个压控功率晶体管,你可以把它看作是CMOS晶体管的大功率版本。其特点是开关频率高。主要用于家用,如变频空调、电磁炉、微波炉、电脑电源的有源pfc、UPS等。工业应用主要用于各种电机驱动。功能上,IGBT是一个电路开关,用于电压几十到几百伏,电流几十到几百安培的高压电源中。

  电的发现是人类历史上的一次革命,它产生的动能每天都在持续释放。人对电的需求不亚于人类世界对氧气的需求。没有电,人类文明仍将在黑暗中探索。

  然而,IGBT是电力电子的重要组成部分。没有IGBT,就没有高铁的便捷生活。

  说到IGBT,做半导体的人认为它只是一个功率识别器,他们都瞧不起它。但和28nm/16nm集成电路制造一样,是国家“02专项”的重点支持项目。这个东西是目前电力电子器件中技术的产物,已经完全取代了传统的功率mosFET。其应用非常广泛,小到家用电器,大到飞机、船舶、交通、电网等战略性行业。在电力电子行业被称为“CPU”由来已久。该产品(包括芯片)仍被少数IDM(飞兆、英飞凌、东芝)垄断,位列“十二五”期间16个国家重大技术突破项目(简称“02项目”)第二名。

  1.什么是IGBT?

  IGBT被称为绝缘栅双极晶体管,所以它是一个具有MOS栅的BJT晶体管。奇怪,是MOSFET还是BJT?其实都不是。都是。别拐弯抹角了,他是MOSFET和BJT的结合体。

  当我谈到MOSFET和BJT时,我提到了它们的优缺点。MOSFET主要是单载流子(多载流子)导通,而BJT是双载流子导通,所以BJT的驱动电流会比MOSFET大,但是MOSFET的控制栅是场效应反转控制的,控制端没有额外的功率损耗。所以IGBT是结合了MOSFET和BJT的优点,既有MOSFET的栅压控制晶体管(高输入阻抗),又有BJT的双载流子,达到大电流(低导通压降)的目的。从而达到低驱动功率和低饱和电压的完美要求,广泛应用于600V以上的变流系统,如交流电机、变频器、开关电源、照明电路、牵引传动等领域。

  2.传统功率MOSFET

  为了以后理解IGBT,我先说一下功率MOSFET的结构。所谓功率MOS就是要承受大功率,换句话说就是高电压大电流。我们结合一般的低压MOSFET来说明如何改变结构实现高压大电流。

  1)高电压:如果一般MOSFET的漏极电压很高,很容易导致器件击穿,而一般的击穿通道是器件的另外三个端子(S/G/B),所以要解决高电压问题,必须把这三个端子堵住。栅极端只能通过栅下的场板与漏极隔离,而体极端的PN结击穿只能通过降低PN结两侧的浓度来实现。讨厌的是到源极端子,需要一个很长的漂移区作为漏极串联电阻来分压,这样电压就可以在漂移区上下降。

  2)大电流:一般MOSFET的沟道长度是由Poly CD决定的,而功率MOSFET的沟道是由两个扩散的结深差控制的,所以只要工艺稳定就可以做得很小,不受光刻精度的限制。器件的电流取决于W/L,所以如果想获得大电流,只需要增加W。

  所以上面的功率MOSFET也叫LDMOS(横向双扩散MOS)。虽然这样的设备可以满足大功率的要求,但它仍然有其固有的缺点。因为它的源极、栅极和漏极都在表面,漏极和源极需要拉得很长,浪费了芯片面积。此外,由于器件在地面上,如果要并联器件,复杂性会增加,需要隔离。所以后来发展了VDMOS(垂直DMOS),把漏极均匀地放在晶片背面,这样通过减薄背面可以完全控制漏极和源极的漂移区长度,这种结构更有利于管间并联结构实现高功率。然而,为了与CMOS兼容,BCD工艺中仍然使用LDMOS结构。

  让我告诉你关于VDMOS的发展和演变。早期的VDMOS直接把LDMOS的漏极放在背面,通过背面减薄、注入和金属蒸发制作而成(如下图)。它就是传说中的平面VDMOS,它与传统LDMOS相比的挑战在于背面工艺。但它的优点是前端工艺兼容传统CMOS工艺,所以还是有生命力的。但是这种结构的缺点是它的沟道是横向于表面的,面积利用率仍然不够高。

  后来,为了克服平面DMOS带来的缺点,发展了VMOS和UMOS结构。他们所做的是在晶片表面挖一个凹槽,并沿着凹槽的壁将管道的通道从原来的平面改为垂直。这真是个聪明的主意。但是,一个馅饼总是伴随着一个陷阱(IC制造总是在取舍中)。这种结构的固有缺点是沟槽太深,电场集中,导致击穿,而且工艺难度和成本高,沟槽底部必须粗糙,否则容易击穿或产生应力晶格缺陷。但它的优点是晶体饱和的数量比原来多很多,所以可以并联更多的晶体管,更适合低压大电流的应用。

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