随着技术的日益进步，特别是近年来引入微机技术后，采用X射线镀层测厚仪 向微型、智能、多功能、高精度、实用化的方向进了一步。测量的分辨率已达0.1微米，精度可达到1%，有了大幅度的提高。它适用范围广，量程宽、操作简便且价廉，是工业和科研使用广泛的测厚仪器。
Ux-720微动平台
载物测试平台，微调装置在仪器右侧，通过旋转按钮来调节样品的移动，移动范围为X轴和Y轴各15mm。结合260万像素的高清CCD，对测试样品进行定位，防止样品放置好后关闭样品盖产生振动而使测试位置发生变化导致测试不准确。
Ux-720 仪器技术指标
1、分析元素范围：Na-U
2、检测成分范围：1ppm-99.99%
3、检测厚度：1nm
4、检测厚度上限，30 - 50um（视材料而定）
5、检测镀层层数：1-10层
6、测量时间 ：30-150s ( 系统自动调整 )
7、分辨率：145±5eV
8、准直器：Φ0.5mm、Φ1mm、Φ2mm、Φ4mm自动切换
9、滤光片：5种滤光片自动切换
10、CCD观察：260万像素高清CCD
11、样品微动范围：XY15mm
12、仪器尺寸：680(W)x400(D)x390(H)mm
13、样品腔尺寸：300*360*100mm；
14、输入电源：AC220V～240V，50/60Hz
15、额定功率：350W
16、重量：约45Kg
17、工作环境温度：温度15—30℃
18、工作环境相对湿度：≤85%（不结露）
19、稳定性:多次测量重复性误差小于0.1%
Ux-720探测系统
功能：对样品特征X射线进行探测，将采集来的信号进行数据处理，并将处理结果传输给计算机。
类型：Si-PIN X-123(美国原装进口)
Be窗???：1mil(0.0254mm)
分辨率：145±5eV
系统峰背比：≥ 6200/1
能量响应范围：1keV — 40keV
推荐计数率：5000cps