陶瓷压力传感器
原理:压力直接作用在陶瓷膜片的正面,使膜片轻微变形。厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面,连接形成惠斯通电桥(闭合电桥)。由于压阻电阻器的压阻效应,电桥产生与压力以及激励电压成比例的高度线性的电压信号。标准信号根据压力范围的不同标定为2.0/3.0/3.3mV/V,可以与应变一致。通过激光标定,该传感器具有较高的温度稳定性和时间稳定性。传感器自带0~70℃的温度补偿,可与大多数介质直接接触。
用途:陶瓷是公认的高弹性、耐腐蚀、耐磨损、耐冲击、耐振动的材料。陶瓷的热稳定性及其厚膜电阻可使其工作温度范围高达-40~135℃,在测量中具有较高的精度和稳定性。电气绝缘度2kV,输出信号强,长期稳定性好。高性能、低价格的陶瓷传感器将是压力传感器的发展方向。在欧美,有完全取代其他类型传感器的趋势。在中国,越来越多的用户使用陶瓷传感器取代扩散硅压力传感器。
蓝宝石压力传感器
原理:利用应变电阻工作,采用硅蓝宝石作为半导体敏感元件,具有无可比拟的计量特性。该传感器的电路可以保证应变桥电路的供电,并将应变桥的不平衡信号转换成统一的电信号输出。在绝对压力传感器和变送器中,与陶瓷基玻璃焊料相连的蓝宝石片起到弹性元件的作用,将测得的压力转化为应变片的形变,从而达到压力测量的目的。