避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶剂，这样清洗后就不会产生有害的污染物，所以这种清洗方法属于环保绿色清洗方法。这在全球高度关注环境保护的情况下越来越重要；
当清洁和去污完成时，材料本身的表面性质可以得到改善。例如改善表面的润湿性和改善膜的粘附性，这在许多应用中是非常重要的。
真空等离子清洗机
1.对材料表面的蚀刻作用-物理作用:
等离子体中大量的离子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固体样品表面，不仅去除了表面原有的污染物和杂质，还产生刻蚀，使样品表面变得粗糙，形成许多微小的凹坑，增加了样品的比表面积。改善固体表面的润湿性。
2、活化键能，交联:
等离子体中粒子的能量为0~20eV，而聚合物中大部分键的能量为0~10eV。因此，等离子体作用于固体表面后，可以打破固体表面原有的化学键，等离子体中的自由基与这些键形成网状交联结构，极大地激活了表面活性。
3、新官能团的形成——化学作用:
如果在放电气体中引入反应性气体，活性物质表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等。这些官能团都是活性基团，可以明显提高材料的表面活性。
真空等离子清洗机产品的优势:
1.超大加工空间，提高加工能力，采用PLC触摸屏控制系统控制设备运行。
2.设备腔体的容量和层数可根据客户要求定制，满足客户需求。
3、维护成本低，便于客户成本控制。
4.精度高，反应快，机动性和兼容性好，功能完善，技术支持好。
5.真空等离子清洗机表面活化的原理增强附着力，主要适用于生物医药行业、印刷电路板行业、半导体IC领域、硅胶、塑料、聚合物领域、汽车电子行业、航空工业等。