真空等离子清洗机
1.对材料表面的蚀刻作用-物理作用:
等离子体中大量的离子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固体样品表面，不仅去除了表面原有的污染物和杂质，还产生刻蚀，使样品表面变得粗糙，形成许多微小的凹坑，增加了样品的比表面积。改善固体表面的润湿性。
2、活化键能，交联:
等离子体中粒子的能量为0~20eV，而聚合物中大部分键的能量为0~10eV。因此，等离子体作用于固体表面后，可以打破固体表面原有的化学键，等离子体中的自由基与这些键形成网状交联结构，极大地激活了表面活性。
3、新官能团的形成——化学作用:
如果在放电气体中引入活性气体，在活性材料的表面会发生复杂的化学反应，产生新的官能团，如烃基、氨基、羧基等。，它们能明显提高材料的表面活性。
等离子清洗机就是利用这些活性成分的特性来处理样品表面，从而达到清洗和镀膜的目的。
等离子清洗机的结构主要分为三部分，即控制单元、真空室和真空泵。
首先，控制单元
国内使用的等离子清洗机，包括进口的，有四种控制方式:半自动控制、全自动控制、PC电脑控制和LCD触摸屏控制。
控制单元分为两部分:
1)电源:主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz和2.45GHz，其中13.56MHz需要电源匹配器。
2)系统控制单元:分为按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)三种。
二、真空室:
真空室主要分为两种材料:
1)不锈钢真空室。
2)应时腔。
三、真空泵:
真空泵分为两种类型:
1)干式泵。
2)油泵。
真空等离子清洗机表面活化增强附着力的原理包括反应室、电源和真空泵组。当样品放入反应室后，真空泵开始抽空气到一定的真空度，启动电源产生等离子体，然后向反应室内通入气体，使室内的等离子体变成反应等离子体，与样品表面反应产生挥发性副产物，由真空泵抽出。等离子体高能粒子与材料表面的物理化学反应，可用于材料表面的活化、刻蚀和去污，提高材料的摩擦系数、附着力和亲水性。