真空等离子清洗机技术作为一种新的材料表面改性方法，在等离子清洗机中以其能耗低、污染小、处理时间短、效果明显而受到人们的关注。在等离子清洗机的众多改造方法中，低温等离子清洗机近年来发展迅速，等离子清洗机与其他方法相比有很多优点。
等离子清洗的使用避免了清洗液的运输、储存、排放等处理措施，生产现场易于保持清洁卫生；
等离子体和固体、液体或气体一样，是一种物质状态，也叫物质第四态。向气体施加足够的能量以将其电离成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、受激核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪器就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗、修饰和灰化光刻胶的目的。
避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶剂，这样清洗后就不会产生有害的污染物，所以这种清洗方法属于环保绿色清洗方法。这在全球高度关注环境保护的情况下越来越重要；