等离子清洗可以处理各种材料，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等聚合物)。所以特别适合不耐热不耐溶剂的材料。还可以选择性地部分清洗材料的整体、局部或复杂结构；
处于等离子体状态的物质有以下几种:高速运动的电子；处于活化状态的中性原子、分子和原子团(自由基)；离子化的原子和分子；未反应的分子、原子等。，但该物质整体上保持电中性。
等离子清洗机就是利用这些活性成分的特性来处理样品表面，从而达到清洗和镀膜的目的。
避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶剂，这样清洗后就不会产生有害的污染物，所以这种清洗方法属于环保绿色清洗方法。这在全球高度关注环境保护的情况下越来越重要；