使用等离子清洗可以大大提高清洗效率。整个清洗过程可以在几分钟内完成，因此具有成品率高的特点；
等离子清洗机的结构主要分为三部分，即控制单元、真空室和真空泵。
首先，控制单元
国内使用的等离子清洗机，包括进口的，有四种控制方式:半自动控制、全自动控制、PC电脑控制和LCD触摸屏控制。
控制单元分为两部分:
1)电源:主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz和2.45GHz，其中13.56MHz需要电源匹配器。
2)系统控制单元:分为按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)三种。
二、真空室:
真空室主要分为两种材料:
1)不锈钢真空室。
2)应时腔。
三、真空泵:
真空泵分为两种类型:
1)干式泵。
2)油泵。
当清洁和去污完成时，材料本身的表面性质可以得到改善。例如改善表面的润湿性和改善膜的粘附性，这在许多应用中是非常重要的。
真空等离子清洗机表面活化增强附着力的原理包括反应室、电源和真空泵组。当样品放入反应室后，真空泵开始抽空气到一定的真空度，启动电源产生等离子体，然后向反应室内通入气体，使室内的等离子体变成反应等离子体，与样品表面反应产生挥发性副产物，由真空泵抽出。等离子体高能粒子与材料表面的物理化学反应，可以用来活化、刻蚀和去污材料表面，提高材料的摩擦系数、附着力和亲水性。