涂层厚度的测量方法主要有:楔形切割法、光切法、电解法、厚度差测量法、称重法、X射线荧光法、β射线背散射法、电容法、磁性测量法和涡流测量法。这些方法的前五种都是破坏性检测，比较繁琐，速度慢，大多适合抽样检验。
Ux-720仪器技术指标
1.分析元素范围:Na-U
2.检测范围:1ppm-99.99%
3.检测厚度:1纳米
4.检测厚度上限，30-50um(取决于材料)
5.检测涂层数量:1-10。
6.测量时间:30-150秒(系统自动调整)
7.分辨率:145±5eV
8.准直器:0.5mm、φ 1 mm、φ 2 mm、φ 4 mm自动切换。
9.滤光片:五种滤光片自动切换。
10.CCD观察:260万像素高清CCD。
11.样品微动范围:XY15mm。
12.仪器尺寸:680(宽)x400(深)x390(高)毫米
13.样品腔尺寸:300 * 360 * 100mm
14.输入电源:AC220V~240V，50/60Hz。
15.额定功率:350W
16.重量:约45Kg
17.工作环境温度:15-30℃。
18.工作环境相对湿度:≤85%(无凝露)
19.稳定性:重复测量误差小于0.1%。
Ux-720仪器标配设备参数。
1.计算机
CPU:英特尔双核内存:2G
硬盘:500G显示器:19英寸
2.喷墨式打印机
彩色喷墨打印机
3、仪器附件及技术数据
50片测试胶片
五个保险管
保修卡。
批准证书
仪器操作手册
辐射安全检查报告
Ux-720检测系统
功能:检测样品的特征X射线，对采集的信号进行处理，并将处理结果传送给计算机。
型号:Si-PIN X-123(美国进口)
是窗户吗？？？:1毫米(0.0254毫米)
分辨率:145±5eV
系统峰背比:≥ 6200/1
能量响应范围:1千电子伏-40千电子伏
推荐计数率:5000cps