等离子清洗后清洗对象干燥，无需干燥即可送入下一道工序。可以提高整条生产线的加工效率；
等离子体清洗要控制的真空度约为100Pa，容易实现。因此这种装置的设备成本不高，清洗过程不需要使用昂贵的有机溶剂，使得整体成本低于传统的湿法清洗工艺；
真空等离子清洗机技术作为一种新的材料表面改性方法，在等离子清洗机中以其能耗低、污染小、处理时间短、效果明显而受到人们的关注。在等离子清洗机的众多改造方法中，低温等离子清洗机近年来发展迅速，等离子清洗机与其他方法相比有很多优点。
等离子清洗机就是利用这些活性成分的特性来处理样品表面，从而达到清洗和镀膜的目的。