等离子体和固体、液体或气体一样，是一种物质状态，也叫物质第四态。向气体施加足够的能量以将其电离成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、受激核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪器就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗、修饰和灰化光刻胶的目的。
等离子清洗机又称等离子清洗机或等离子表面处理仪器，是一种全新的高科技技术，利用等离子体达到常规清洗方法无法达到的效果。
当清洁和去污完成时，材料本身的表面性质可以得到改善。例如改善表面的润湿性和改善膜的粘附性，这在许多应用中是非常重要的。
等离子清洗使用户远离有害溶剂对人体的伤害，同时避免了湿式清洗中清洗对象易被冲走的问题；