真空等离子清洗机技术作为一种新的材料表面改性方法，在等离子清洗机中以其能耗低、污染小、处理时间短、效果明显而受到人们的关注。在等离子清洗机的众多改造方法中，低温等离子清洗机近年来发展迅速，等离子清洗机与其他方法相比有很多优点。
在真空室内，由射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，用等离子体轰击被清洗产品表面，达到清洗目的。
无线电波范围内的高频产生的等离子体不同于激光等直射光。等离子体的方向性不强，可以深入到物体的微孔和凹陷处完成清洁任务，所以不需要过多考虑被清洁物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗相似甚至更好；
等离子清洗的使用避免了清洗液的运输、储存、排放等处理措施，生产现场易于保持清洁卫生；