在真空室内，由射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，用等离子体轰击被清洗产品表面，达到清洗目的。
等离子清洗机的结构主要分为三部分，即控制单元、真空室和真空泵。
首先，控制单元
国内使用的等离子清洗机，包括进口的，有四种控制方式:半自动控制、全自动控制、PC电脑控制和LCD触摸屏控制。
控制单元分为两部分:
1)电源:主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz和2.45GHz，其中13.56MHz需要电源匹配器。
2)系统控制单元:分为按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)三种。
二、真空室:
真空室主要分为两种材料:
1)不锈钢真空室。
2)应时腔。
三、真空泵:
真空泵分为两种类型:
1)干式泵。
2)油泵。
真空等离子清洗机产品的优势:
1.超大加工空间，提高加工能力，采用PLC触摸屏控制系统控制设备运行。
2.设备腔体的容量和层数可根据客户要求定制，满足客户需求。
3、维护成本低，便于客户成本控制。
4.精度高，反应快，机动性和兼容性好，功能完善，技术支持好。
5.真空等离子清洗机表面活化的原理增强附着力，主要适用于生物医药行业、印刷电路板行业、半导体IC领域、硅胶、塑料、聚合物领域、汽车电子行业、航空工业等。
等离子清洗使用户远离有害溶剂对人体的伤害，同时避免了湿式清洗中清洗对象易被冲走的问题；