等离子体和固体、液体或气体一样，是一种物质状态，也叫物质第四态。向气体施加足够的能量以将其电离成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、受激核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪器就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗、修饰和灰化光刻胶的目的。
真空等离子清洗机产品的优势:
1.超大加工空间，提高加工能力，采用PLC触摸屏控制系统控制设备运行。
2.设备腔体的容量和层数可根据客户要求定制，满足客户需求。
3、维护成本低，便于客户成本控制。
4.精度高，反应快，机动性和兼容性好，功能完善，技术支持好。
5.真空等离子清洗机表面活化的原理增强附着力，主要适用于生物医药行业、印刷电路板行业、半导体IC领域、硅胶、塑料、聚合物领域、汽车电子行业、航空工业等。
等离子清洗使用户远离有害溶剂对人体的伤害，同时避免了湿式清洗中清洗对象易被冲走的问题；
处于等离子体状态的物质有以下几种:高速运动的电子；处于活化状态的中性原子、分子和原子团(自由基)；离子化的原子和分子；未反应的分子、原子等。，但该物质整体上保持电中性。