处于等离子体状态的物质有以下几种:高速运动的电子；处于活化状态的中性原子、分子和原子团(自由基)；离子化的原子和分子；未反应的分子、原子等。，但该物质整体上保持电中性。
真空等离子清洗机技术作为一种新的材料表面改性方法，在等离子清洗机中以其能耗低、污染小、处理时间短、效果明显而受到人们的关注。在等离子清洗机的众多改造方法中，低温等离子清洗机近年来发展迅速，等离子清洗机与其他方法相比有很多优点。
等离子清洗的使用避免了清洗液的运输、储存、排放等处理措施，生产现场易于保持清洁卫生；
等离子清洗机就是利用这些活性成分的特性来处理样品表面，从而达到清洗和镀膜的目的。