等离子体清洗要控制的真空度约为100Pa，容易实现。因此这种装置的设备成本不高，清洗过程不需要使用昂贵的有机溶剂，使得整体成本低于传统的湿法清洗工艺；
真空等离子清洗机技术作为一种新的材料表面改性方法，在等离子清洗机中以其能耗低、污染小、处理时间短、效果明显而受到人们的关注。在等离子清洗机的众多改造方法中，低温等离子清洗机近年来发展迅速，等离子清洗机与其他方法相比有很多优点。
使用等离子清洗可以大大提高清洗效率。整个清洗过程可以在几分钟内完成，因此具有成品率高的特点；
避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶剂，这样清洗后就不会产生有害的污染物，所以这种清洗方法属于环保绿色清洗方法。这在全球高度关注环境保护的情况下越来越重要；