等离子体和固体、液体或气体一样，是一种物质状态，也叫物质第四态。向气体施加足够的能量以将其电离成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、受激核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪器就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗、修饰和灰化光刻胶的目的。
真空等离子清洗机产品的优势:
1.超大加工空间，提高加工能力，采用PLC触摸屏控制系统控制设备运行。
2.设备腔体的容量和层数可根据客户要求定制，满足客户需求。
3、维护成本低，便于客户成本控制。
4.精度高，反应快，机动性和兼容性好，功能完善，技术支持好。
5.真空等离子清洗机表面活化的原理增强附着力，主要适用于生物医药行业、印刷电路板行业、半导体IC领域、硅胶、塑料、聚合物领域、汽车电子行业、航空工业等。
真空等离子清洗机技术作为一种新的材料表面改性方法，在等离子清洗机中以其能耗低、污染小、处理时间短、效果明显而受到人们的关注。在等离子清洗机的众多改造方法中，低温等离子清洗机近年来发展迅速，等离子清洗机与其他方法相比有很多优点。
使用等离子清洗可以大大提高清洗效率。整个清洗过程可以在几分钟内完成，因此具有成品率高的特点；