涂层厚度的测量方法主要有:楔形切割法、光切法、电解法、厚度差测量法、称重法、X射线荧光法、β射线背散射法、电容法、磁性测量法和涡流测量法。这些方法的前五种都是破坏性检测，比较繁琐，速度慢，大多适合抽样检验。
随着科技的发展，特别是近年来微机技术的引入，X射线涂层测厚仪的使用向着小型化、智能化、多功能、高精度和实用化迈进了一步。测量的分辨率达到了0.1微米，精度可以达到1%，有了很大的提高。由于其应用范围广、测量范围宽、操作简单、价格低廉，在工业和科研中得到广泛应用。
Ux-720光导管
作用:产生X射线激发样品，使被激发样品中的各元素发出二次X射线。
使用寿命:使用寿命大于15000小时。
电压:0 ~ 50千伏
功率:50 W
目标材料:钼
Be窗厚度:400um
Ux-720检测系统
功能:检测样品的特征X射线，对采集的信号进行处理，并将处理结果传送给计算机。
型号:Si-PIN X-123(美国进口)
是窗户吗？？？:1毫米(0.0254毫米)
分辨率:145±5eV
系统峰背比:≥ 6200/1
能量响应范围:1千电子伏-40千电子伏
推荐计数率:5000cps