等离子清洗机又称等离子清洗机或等离子表面处理仪器，是一种全新的高科技技术，利用等离子体达到常规清洗方法无法达到的效果。
真空等离子清洗机利用等离子体中各种高能物质的活化作用，彻底剥离附着在物体表面的污垢。以氧等离子体去除物体表面的油脂和污垢为例来说明这些作用。等离子体对油垢的作用类似于燃烧油垢。但不同的是，它在低温下“燃烧”。其基本原理:在氧等离子体中氧原子自由基、受激氧分子、电子和紫外线的共同作用下，油分子最终被氧化成水和二氧化碳分子，从物体表面被清除。
等离子体是物质的一种状态，也称为物质的第四种状态，不属于常见的固液气三态向气体施加足够的能量使其电离为等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、原子、活性基团、受激核素(亚稳态)、光子等。
处于等离子体状态的物质有以下几种:高速运动的电子；处于活化状态的中性原子、分子和原子团(自由基)；离子化的原子和分子；未反应的分子、原子等。，但该物质整体上保持电中性。