等离子清洗可以处理各种材料，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等聚合物)。所以特别适合不耐热不耐溶剂的材料。还可以选择性地部分清洗材料的整体、局部或复杂结构；
等离子清洗机又称等离子清洗机或等离子表面处理仪器，是一种全新的高科技技术，利用等离子体达到常规清洗方法无法达到的效果。
等离子体是物质的一种存在状态。通常情况下，物质以固态、液态和气态三种状态存在，但在某些特殊情况下会出现第四种状态，比如地球大气层中电离层中的物质。
在真空室内，由射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，用等离子体轰击被清洗产品表面，达到清洗目的。