等离子体是物质的一种状态，也称为物质的第四种状态，不属于常见的固液气三态向气体施加足够的能量使其电离为等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、原子、活性基团、受激核素(亚稳态)、光子等。
等离子体和固体、液体或气体一样，是一种物质状态，也叫物质第四态。向气体施加足够的能量以将其电离成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、活性基团、受激核素(亚稳态)、光子等。等离子体表面处理仪器就是利用这些活性成分的性质对样品表面进行处理，从而达到清洗、修饰和灰化光刻胶的目的。
处于等离子体状态的物质有以下几种:高速运动的电子；处于活化状态的中性原子、分子和原子团(自由基)；离子化的原子和分子；未反应的分子、原子等。，但该物质整体上保持电中性。
当清洁和去污完成时，材料本身的表面性质可以得到改善。例如改善表面的润湿性和改善膜的粘附性，这在许多应用中是非常重要的。