x射线和β射线法为非接触式无损测量，测量范围小。x射线法可以测量极薄的涂层、双层涂层和合金涂层。β射线法适用于原子序数大于3的涂层和镀层的测量。电容法仅在测量薄导体的绝缘涂层厚度时使用。
Ux-720高压电源
功能:为X射线管提供稳定的高压。
输入电压:DC+24V±10%
输出电压:0 -50KV 1mA
功率:50W
电压调整率:0.01%(从空载到满载)
电流调整率:0.01%(从空载到满载)
纹波电压:在输出额定电压的前提下，纹波电压的峰值为输出电压的0.25%。
8小时稳定性:≤0.05%
Ux-720光导管
作用:产生X射线激发样品，使被激发样品中的各元素发出二次X射线。
使用寿命:使用寿命大于15000小时。
电压:0 ~ 50千伏
功率:50 W
目标材料:钼
Be窗厚度:400um
Ux-720仪器技术指标
1.分析元素范围:Na-U
2.检测范围:1ppm-99.99%
3.检测厚度:1纳米
4.检测厚度上限，30-50um(取决于材料)
5.检测涂层数量:1-10。
6.测量时间:30-150秒(系统自动调整)
7.分辨率:145±5eV
8.准直器:0.5mm、φ 1 mm、φ 2 mm、φ 4 mm自动切换。
9.滤光片:五种滤光片自动切换。
10.CCD观察:260万像素高清CCD。
11.样品微动范围:XY15mm。
12.仪器尺寸:680(宽)x400(深)x390(高)毫米
13.样品腔尺寸:300 * 360 * 100mm
14.输入电源:AC220V~240V，50/60Hz。
15.额定功率:350W
16.重量:约45Kg
17.工作环境温度:15-30℃。
18.工作环境相对湿度:≤85%(无凝露)
19.稳定性:重复测量误差小于0.1%。