避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶剂，这样清洗后就不会产生有害的污染物，所以这种清洗方法属于环保绿色清洗方法。这在全球高度关注环境保护的情况下越来越重要；
真空等离子清洗机表面活化增强附着力的原理包括反应室、电源和真空泵组。当样品放入反应室后，真空泵开始抽空气到一定的真空度，启动电源产生等离子体，然后向反应室内通入气体，使室内的等离子体变成反应等离子体，与样品表面反应产生挥发性副产物，由真空泵抽出。等离子体高能粒子与材料表面的物理化学反应，可以用来活化、刻蚀和去污材料表面，提高材料的摩擦系数、附着力和亲水性。
等离子体是物质的一种存在状态。通常情况下，物质以固态、液态和气态三种状态存在，但在某些特殊情况下会出现第四种状态，比如地球大气层中电离层中的物质。
真空等离子清洗机技术作为一种新的材料表面改性方法，在等离子清洗机中以其能耗低、污染小、处理时间短、效果明显而受到人们的关注。在等离子清洗机的众多改造方法中，低温等离子清洗机近年来发展迅速，等离子清洗机与其他方法相比有很多优点。