等离子体是物质的一种状态，也称为物质的第四种状态，不属于常见的固液气三态向气体施加足够的能量使其电离为等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、原子、活性基团、受激核素(亚稳态)、光子等。
真空等离子清洗机技术作为一种新的材料表面改性方法，在等离子清洗机中以其能耗低、污染小、处理时间短、效果明显而受到人们的关注。在等离子清洗机的众多改造方法中，低温等离子清洗机近年来发展迅速，等离子清洗机与其他方法相比有很多优点。
当清洁和去污完成时，材料本身的表面性质可以得到改善。例如改善表面的润湿性和改善膜的粘附性，这在许多应用中是非常重要的。
等离子体清洗要控制的真空度约为100Pa，容易实现。因此这种装置的设备成本不高，清洗过程不需要使用昂贵的有机溶剂，使得整体成本低于传统的湿法清洗工艺；