等离子体清洗要控制的真空度约为100Pa，容易实现。因此，这种装置的设备成本不高，清洗过程也不
无线电波范围内的高频产生的等离子体不同于激光等直射光。等离子体的方向性不强，可以深入到物体的微孔和凹陷处完成清洁任务，所以不需要过多考虑被清洁物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗相似甚至更好；
避免使用三氯乙烷等有害的ODS溶剂，这样清洗后就不会产生有害的污染物，所以这种清洗方法属于环保绿色清洗方法。这在全球高度关注环境保护的情况下越来越重要；
真空等离子清洗机产品的优势:
1.超大加工空间，提高加工能力，采用PLC触摸屏控制系统控制设备运行。
2.设备腔体的容量和层数可根据客户要求定制，满足客户需求。
3、维护成本低，便于客户成本控制。
4.精度高，反应快，机动性和兼容性好，功能完善，技术支持好。
5.真空等离子清洗机表面活化的原理增强附着力，主要适用于生物医药行业、印刷电路板行业、半导体IC领域、硅胶、塑料、聚合物领域、汽车电子行业、航空工业等。