在真空室内，由射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，用等离子体轰击被清洗产品表面，达到清洗目的。
等离子清洗可以处理各种材料，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等聚合物)。所以特别适合不耐热不耐溶剂的材料。还可以选择性地部分清洗材料的整体、局部或复杂结构；
等离子清洗的使用避免了清洗液的运输、储存、排放等处理措施，生产现场易于保持清洁卫生；
真空等离子清洗机
1.对材料表面的蚀刻作用-物理作用:
等离子体中大量的离子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固体样品表面，不仅去除了表面原有的污染物和杂质，还产生刻蚀，使样品表面变得粗糙，形成许多微小的凹坑，增加了样品的比表面积。改善固体表面的润湿性。
2、活化键能，交联:
等离子体中粒子的能量为0~20eV，而聚合物中大部分键的能量为0~10eV。因此，等离子体作用于固体表面后，可以打破固体表面原有的化学键，等离子体中的自由基与这些键形成网状交联结构，极大地激活了表面活性。
3、新官能团的形成——化学作用:
如果在放电气体中引入反应性气体，活性物质表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等。这些官能团都是活性基团，可以明显提高材料的表面活性。