等离子清洗后清洗对象干燥，无需干燥即可送入下一道工序。可以提高整条生产线的加工效率；
等离子清洗可以处理各种材料，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等聚合物)。所以特别适合不耐热不耐溶剂的材料。还可以选择性地部分清洗材料的整体、局部或复杂结构；
在真空室内，由射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，用等离子体轰击被清洗产品表面，达到清洗目的。
等离子清洗机就是利用这些活性成分的特性来处理样品表面，从而达到清洗和镀膜的目的。
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