等离子清洗的使用避免了清洗液的运输、储存、排放等处理措施，生产现场易于保持清洁卫生；
真空等离子清洗机
1.对材料表面的蚀刻作用-物理作用:
等离子体中大量的离子、受激分子、自由基等活性粒子作用于固体样品表面，不仅去除了表面原有的污染物和杂质，还产生刻蚀，使样品表面变得粗糙，形成许多微小的凹坑，增加了样品的比表面积。改善固体表面的润湿性。
2、活化键能，交联:
等离子体中粒子的能量为0~20eV，而聚合物中大部分键的能量为0~10eV。因此，等离子体作用于固体表面后，可以打破固体表面原有的化学键，等离子体中的自由基与这些键形成网状交联结构，极大地激活了表面活性。
3、新官能团的形成——化学作用:
如果在放电气体中引入反应性气体，活性物质表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等。这些官能团都是活性基团，可以明显提高材料的表面活性。
真空等离子清洗机利用等离子体中各种高能物质的活化作用，彻底剥离附着在物体表面的污垢。以氧等离子体去除物体表面的油脂和污垢为例来说明这些作用。等离子体对油垢的作用类似于燃烧油垢。但不同的是，它在低温下“燃烧”。其基本原理:在氧等离子体中氧原子自由基、受激氧分子、电子和紫外线的共同作用下，油分子最终被氧化成水和二氧化碳分子，从物体表面被清除。
等离子清洗机就是利用这些活性成分的特性来处理样品表面，从而达到清洗和镀膜的目的。