等离子清洗机就是利用这些活性成分的特性来处理样品表面，从而达到清洗和镀膜的目的。
真空等离子清洗机表面活化增强附着力的原理包括反应室、电源和真空泵组。当样品放入反应室后，真空泵开始抽空气到一定的真空度，启动电源产生等离子体，然后向反应室内通入气体，使室内的等离子体变成反应等离子体，与样品表面反应产生挥发性副产物，由真空泵抽出。等离子体高能粒子与材料表面的物理化学反应，可以用来活化、刻蚀和去污材料表面，提高材料的摩擦系数、附着力和亲水性。
无线电波范围内的高频产生的等离子体不同于激光等直射光。等离子体的方向性不强，可以深入到物体的微孔和凹陷处完成清洁任务，所以不需要过多考虑被清洁物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗相似甚至更好；
等离子清洗可以处理各种材料，无论是金属、半导体、氧化物，还是高分子材料(如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等聚合物)。所以特别适合不耐热不耐溶剂的材料。还可以选择性地部分清洗材料的整体、局部或复杂结构；