随着科技的发展，特别是近年来微机技术的引入，X射线涂层测厚仪的使用向着小型化、智能化、多功能、高精度和实用化迈进了一步。测量的分辨率达到了0.1微米，精度可以达到1%，有了很大的提高。由于其应用范围广、测量范围宽、操作简单、价格低廉，在工业和科研中得到广泛应用。
涂层厚度的测量方法主要有:楔形切割法、光切法、电解法、厚度差测量法、称重法、X射线荧光法、β射线背散射法、电容法、磁性测量法和涡流测量法。这些方法的前五种都是破坏性检测，比较繁琐，速度慢，大多适合抽样检验。
Ux-720光导管
作用:产生X射线激发样品，使被激发样品中的各元素发出二次X射线。
使用寿命:使用寿命大于15000小时。
电压:0 ~ 50千伏
功率:50 W
目标材料:钼
Be窗厚度:400um
Ux-720仪器技术指标
1.分析元素范围:Na-U
2.检测范围:1ppm-99.99%
3.检测厚度:1纳米
4.检测厚度上限，30-50um(取决于材料)
5.检测涂层数量:1-10。
6.测量时间:30-150秒(系统自动调整)
7.分辨率:145±5eV
8.准直器:0.5mm、φ 1 mm、φ 2 mm、φ 4 mm自动切换。
9.滤光片:五种滤光片自动切换。
10.CCD观察:260万像素高清CCD。
11.样品微动范围:XY15mm。
12.仪器尺寸:680(宽)x400(深)x390(高)毫米
13.样品腔尺寸:300 * 360 * 100mm
14.输入电源:AC220V~240V，50/60Hz。
15.额定功率:350W
16.重量:约45Kg
17.工作环境温度:15-30℃。
18.工作环境相对湿度:≤85%(无凝露)
19.稳定性:重复测量误差小于0.1%。