真空等离子清洗机利用等离子体中各种高能物质的活化作用，彻底剥离附着在物体表面的污垢。以氧等离子体去除物体表面的油脂和污垢为例来说明这些作用。等离子体对油垢的作用类似于燃烧油垢。但不同的是，它在低温下“燃烧”。其基本原理:在氧等离子体中氧原子自由基、受激氧分子、电子和紫外线的共同作用下，油分子最终被氧化成水和二氧化碳分子，从物体表面被清除。
等离子清洗的使用避免了清洗液的运输、储存、排放等处理措施，生产现场易于保持清洁卫生；
真空等离子清洗机技术作为一种新的材料表面改性方法，在等离子清洗机中以其能耗低、污染小、处理时间短、效果明显而受到人们的关注。在等离子清洗机的众多改造方法中，低温等离子清洗机近年来发展迅速，等离子清洗机与其他方法相比有很多优点。
真空等离子清洗机表面活化增强附着力的原理包括反应室、电源和真空泵组。当样品放入反应室后，真空泵开始抽空气到一定的真空度，启动电源产生等离子体，然后向反应室内通入气体，使室内的等离子体变成反应等离子体，与样品表面反应产生挥发性副产物，由真空泵抽出。等离子体高能粒子与材料表面的物理化学反应，可以用来活化、刻蚀和去污材料表面，提高材料的摩擦系数、附着力和亲水性。